[发明专利]激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法在审
| 申请号： | 202011307887.0 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114518692A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 金成昱;金帅炯;梁贤石;贺晓彬;杨涛;丁明正;刘强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法，系统包括：液滴发生器用于生成扁平状的目标液滴；激光源用于生成激光脉冲，以使激光脉冲冲击所述目标液滴生成等离子体；采集器用于收集等离子体辐射出的EUV光线，并将收集的EUV光线聚焦定向到扫描器中。通过液滴发生器直接产生扁平状的目标液滴，从而仅使用一种激光脉冲撞击目标液滴即可生成等离子体，由于减少了激光脉冲撞击液滴的次数，因此可以减少污染物的产生，进而降低了采集器受污染的严重程度，延长了采集器的使用寿命。另外，由于激光源只需要生成一种激光脉冲，无需生成两种激光脉冲，因此本申请还可以简化激光源的结构，以及减少激光源的光束对准程序。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 等离子体 紫外 光源 系统 及其 生成 紫外光 方法 | ||
【主权项】：
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