[发明专利]非接触式测量镜片中厚和矢高的装置及方法在审
| 申请号： | 202011307774.0 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114518087A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 贾辉;沈栋树;修建鸿;杜文静 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇红外技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人： | 延慧;武丽荣 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种非接触式测量镜片中厚和矢高的装置及方法，装置包括xy平移台(1)、第一、第二z平移台(2,3)、俯仰平台(4)、转接平台(5)、载物板(6)以及位移计(7)，所述位移计(7)包括同轴设置的第一、第二探头(8,9)，所述载物板(6)位于两探头之间，还包括测微计(10)。本发明可以同时测量出镜片中厚和矢高，从而避免分开测量带来的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 测量 镜片 装置 方法 | ||
【主权项】：
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