[发明专利]分光装置以及分光装置的驱动方法有效
| 申请号： | 202011305986.5 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112835193B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 广久保望 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G01J3/26;G01B7/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 沈丹阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及分光装置以及分光装置的驱动方法，在分光装置中存在如下课题，即，在仅基于波长偏差量的错误检测中，甚至将对测量精度没有影响的波长偏差也作为错误而进行检测。分光装置具备干涉滤波器、间隙传感器以及错误检测部，所述干涉滤波器具备一对反射膜，并输出与一对所述反射膜的间隙尺寸相应的分光波长的光，所述间隙传感器检测所述间隙尺寸，所述错误检测部基于通过所述间隙传感器检测到的所述间隙尺寸所对应的所述分光波长与从所述干涉滤波器输出的光的目标波长之差来检测错误，所述错误检测部在将所述差的绝对值在时间轴上进行积分而得的积分值超过阈值时检测错误。 | ||
| 搜索关键词： | 分光 装置 以及 驱动 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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