[发明专利]形成多个光电器件的公共电极的方法在审
| 申请号： | 202011300785.6 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112825341A | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 马里恩·沃尔博特 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/36 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 马芬;王琳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种形成多个光电器件的公共电极(190)的方法，该方法包括以下步骤：a)提供支撑基底(111)，在该支撑基底上放置由沟槽(170)隔开的光电器件；b)在正面、侧面和沟槽的底部上形成介电层(130)，在正面和侧面上形成的介电层的厚度分别为厚度E1和小于厚度E1的厚度E2；c)将介电层(130)蚀刻厚度E3，以露出沟槽的第一部分(170a)处的侧面；d)形成填充沟槽以及覆盖正面的金属层；e)对金属层进行机械化学抛光，抛光停止在介电层(130)的一部分上，保留在沟槽(170)中的金属形成公共电极(190)。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 光电 器件 公共 电极 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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