[发明专利]原子气室的漏率检测方法及系统

摘要

本发明提供了一种原子气室的漏率检测方法及系统，该方法包括：准备两端开口的第一安瓿瓶；将原子气室放置在第一安瓿瓶的第一存储区内；将第一安瓿瓶的第一存储区的开口端接入真空系统，将烧结密封后的第一安瓿瓶存储设定时间；当达到设定时间后，将第一检测区的开口端接入质谱系统的真空管路；利用质谱系统对第一检测区和真空管路抽真空，当达到设定真空度后，开启质谱系统的质谱分析功能；利用击打装置对第一烧结头进行击打破碎，对第一存储区内的气体成分及第一管道系统内的压力进行检测分析；计算获取原子气室释放气体的压力。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中气室漏率检测精度低且无法获取泄漏气体的气体成分的技术问题。