[发明专利]一种蓝宝石晶片研磨液及其制备方法

摘要

本发明公开一种蓝宝石晶片研磨液及其制备方法，其组份按重量份数计包括：改性硅溶胶100份；增磨剂13～28份；分散剂1～6份；表面活性剂0.5～3份；所述改性硅溶胶为含铈硅溶胶复合溶液；所述增磨剂的组分按重量份数计包括碳化硼微粉5～10份、金刚石微粉5～10份、氧化铝空心球3～8份。其制备方法包括制备硅溶胶母液、制备铈锆掺杂硅溶胶、制备铈钙掺杂硅溶胶、制备改性硅溶胶、加入增磨剂等步骤；通过对研磨液SiO2母液进行改进，在纯硅溶胶中加入铈锆掺杂硅溶胶和铈钙掺杂硅溶胶，加快对蓝宝石晶片表面的软化速度，加入碳化硼微粉、金刚石微粉和氧化铝空心球作为增磨剂，加速去除软化部分的速度，大大提高加工速率。