[发明专利]全区域影像测试方法与架构在审
| 申请号： | 202011271010.0 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112858870A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 黄郑隆 | 申请（专利权）人： | 松翰股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04;G01R31/01 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种全区域影像测试方法与架构，用于对具有多个待测元件的12英寸晶圆，使用一探针测试装置，探针测试装置由多个测试单元所构成，测试单元数目为64个且呈对称分布，每个测试单元设有一光源单元及一影像撷取卡。在执行测试方法时，其步骤包括由移动平台承载着晶圆移动，晶圆全区域被定义64个测试区，多个测试区呈对称分布，每个测试区内具有多个待测元件；使用探针测试装置，测试探针装置分布着64个测试单元，每个测试单元位置对应测试区，每个测试单元包括一组探针头，探针头位置对应于待测元件；移动平台带动晶圆移动，在探针测试装置下降且使探针头与位置相对应的待测元件接触，测试探针装置下降次数与测试区内的待测元件数目相同。 | ||
| 搜索关键词： | 区域 影像 测试 方法 架构 | ||
【主权项】：
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