[发明专利]全区域影像测试方法与架构

权利要求书

1.一种全区域影像测试方法，用于对具有多个待测元件的12英寸晶圆进行测试，步骤包括：

由移动平台承载着该晶圆移动，该晶圆全区域被定义出64个测试区，多个该测试区呈对称分布且分布数目依序为6、8、9、9、9、9、8、6个，每个该测试区内具有多个该待测元件；

使用一探针测试装置，该测试探针装置分布着64个测试单元，每个该测试单元位置对应该测试区，每个该测试单元包括一组探针头，该探针头位置对应于该待测元件；

该移动平台带动该晶圆移动，在该探针测试装置下降且使该探针头与位置相对应的该待测元件接触，该测试探针装置下降次数与该测试区内的该待测元件数目相同。

2.如权利要求1所述的全区域影像测试方法，其中，每个测试单元设有一光源单元、一影像撷取卡，提供个别独立的光源。

3.如权利要求2所述的全区域影像测试方法，其中，每个测试单元由下而上依序包括探针头、探针接口板、弹簧插针塔、影像接口板，该影像接口板上则插置该影像撷取卡及固定着该光源。

4.如权利要求3所述的全区域影像测试方法，其中，该弹簧插针塔设置于固定层中，该固定层固定于该探针接口板与该影像接口板之间。

5.如权利要求4所述的全区域影像测试方法，其中，该影像接口板上设有加强层，以增加整体的强度。

6.一种全区域影像测试架构，用于对具有多个待测元件的12英寸晶圆，使用一探针测试装置，该探针测试装置由多个测试单元所构成，其特征在于：该测试单元数目为64个且呈对称分布，分布数目依序为6、8、9、9、9、9、8、6个，每个该测试单元设有一光源单元及一影像撷取卡，每个该测试单元由下而上依序还包括探针头、探针接口板、弹簧插针塔、影像接口板，该影像接口板上则插置该影像撷取卡及固定着该光源，该弹簧插针塔设置于固定层中，该固定层固定于该探针接口板与该影像接口板之间。

7.如权利要求6所述的全区域影像测试架构，其中，该影像接口板上设有加强层，以增加整体的强度。