[发明专利]行波电极调制器集成端接电阻的调控方法及系统在审
| 申请号： | 202011269494.5 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112394546A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 邵斯竹;胡志朋;邢德智;冯俊波;郭进 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 401332 重庆市沙坪*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种行波电极调制器集成端接电阻的调控方法及系统，调控方法包括如下步骤：提供制备有多个行波电极调制器的晶圆，多个所述行波电极调制器分布于所述晶圆面内的不同位置；获得所述行波电极调制器在所述晶圆面内不同位置的特征参数；根据所述特征参数确定所述晶圆面内不同位置的行波电极调制器的端接电阻的理想阻值；根据所述理想阻值修调所述端接电阻的阻值。本发明通过收集行波电极调制器在晶圆面内不同位置的特征参数，确定不同位置的端接电阻理想阻值，利用激光处理调控不同位置的端接电阻阻值，可以有效实现阻抗匹配，消除晶圆面内工艺不均匀性的影响，提升器件生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 行波 电极 调制器 集成 端接 电阻 调控 方法 系统 | ||
【主权项】：
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