[发明专利]用于温度和气体检测的红外热电堆传感器的制备方法在审
| 申请号： | 202011266177.8 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112563401A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 姬程鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡宏芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/28 | 分类号： | H01L35/28;H01L35/32;H01L35/34;G01J5/12 |
| 代理公司： | 无锡风创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32461 | 代理人： | 邱国栋 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于温度和气体检测的红外热电堆传感器的制备方法，包括以下步骤：硅片处理；挖槽；生长介质层，先热生长氧化硅层，再生长多晶硅层；离子注入；等离子对多晶硅刻蚀出第一层硅条；生成氧化硅隔离层；等离子对氧化硅刻蚀出第二层硅条；生长氧化硅层；刻蚀出引线孔；金属连接，溅射铝，光刻铝条，接着腐蚀成形，形成多晶硅与铝的热偶对结构；合金化；在惰性气体条件下蒸发一层镍层；光刻刻蚀开口；刻蚀腔体，干法刻蚀释放结构，根据刻蚀开口刻蚀硅衬底，形成悬浮吸收层，释放热电堆结构。本发明涉及一种传感器的制备方法，尤其是用于温度和气体检测的红外热电堆传感器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 温度 气体 检测 红外 热电 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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