[发明专利]一种传动机构和高精度显微镜

摘要

本发明涉及一种传动机构和高精度显微镜。其包括：传动机构、驱动装置和平台组件。所述驱动装置包括第一轨道、移动台以及驱动组件，所述移动台通过滑块安装在第一轨道上，所述驱动组件用于驱动所述移动台沿第一轨道移动，所述平台组件包括第二轨道和平台，所述第二轨道与第一轨道平行设置，所述平台通过滑块安装在第二轨道上，所述传动机构的第一件体安装在所述平台上，所述传动机构的第六件体安装在所述移动台上，且所述传动机构的第一轴、第二轴以及第三轴分别与所述第二轨道平行。所述传动机构包括多个运动副，所述传动机构通过各个运动副将目标方向的驱动力进行传递，并将其它驱动力进行隔绝。进而可有效避免平台在Z方向产生振动。