[发明专利]一种传动机构和高精度显微镜

说明书

本发明涉及一种传动机构和高精度显微镜。其包括：传动机构、驱动装置和平台组件。所述驱动装置包括第一轨道、移动台以及驱动组件，所述移动台通过滑块安装在第一轨道上，所述驱动组件用于驱动所述移动台沿第一轨道移动，所述平台组件包括第二轨道和平台，所述第二轨道与第一轨道平行设置，所述平台通过滑块安装在第二轨道上，所述传动机构的第一件体安装在所述平台上，所述传动机构的第六件体安装在所述移动台上，且所述传动机构的第一轴、第二轴以及第三轴分别与所述第二轨道平行。所述传动机构包括多个运动副，所述传动机构通过各个运动副将目标方向的驱动力进行传递，并将其它驱动力进行隔绝。进而可有效避免平台在Z方向产生振动。

技术领域

本发明涉及高精度传动领域，特别是涉及传动机构和高精度显微镜。

背景技术

传统的高精度显微镜要求载物平台在水平面上的X方向或Y方向的移动要尽可能平稳，也就是尽可能不要产生Z方向的振动，因为Z方向的振动会影响对物体的观察的清晰度。其中，Z方向是与水平面垂直的方向。

传统的高精度显微镜上，虽然应用了一些减震措施，但这些减震措施效果不理想。

发明内容

基于此，提供一种传动机构。该传动机构在使用时，可显著消除Z方向的振动。

一种传动机构，包括：

第一件体、第二件体、第三件体、第四件体、第五件体以及第六件体，

所述第一件体的一端与所述第二件体的一端通过第一轴枢接，所述第二件体的另一端与所述第三件体的一端通过第二轴枢接，所述第三件体的另一端与所述第四件体的一端通过第三轴枢接，所述第四件体的另一端与第五件体的一端通过第四轴枢接，所述第五件体设置在第六件体内部，所述第五件体通过第五轴与第六件体枢接，

所述第一轴的轴向、第二轴的轴向、第三轴的轴向相互平行，所述第四轴的轴向与第三轴的轴向垂直，所述第五轴与所述第四轴垂直，且所述第五轴与所述第三轴垂直。

本申请的上述传动机构，通过第一件体、第二件体、第三件体、第四件体、第五件体以及第六件体的相互配合以及运动，可将目标方向的驱动力传递给平台，促使平台沿轨道移动，并可将其它驱动力进行隔绝，也就是其它驱动力只是促使传动机构产生对应的运动，并不会传递到平台上，无法对平台产生振动。

在其中一个实施例中，所述第二件体与第三件体之间呈一定夹角。

在其中一个实施例中，所述传动机构具有一位置，使得所述第一轴的轴向、第二轴的轴向、第三轴的轴向与X方向平行，所述第四轴的轴向与Y方向平行，所述第五轴的轴向与Z方向平行。

在其中一个实施例中，所述第一件体水平设置，所述第一件体与所述第二件体之间呈一定夹角。

在其中一个实施例中，所述第四件体与第三件体之间呈一定夹角，所述第四件体与第六件体之间设置有间隙。

在其中一个实施例中，所述第六件体设置有一收容孔，所述第五件体位于所述收容孔内。

一种高精度显微镜，包括所述的传动机构，所述高精度显微镜还包括：驱动装置和平台组件，

所述驱动装置包括第一轨道、移动台以及驱动组件，所述移动台通过滑块安装在第一轨道上，所述驱动组件用于驱动所述移动台沿第一轨道移动，

所述平台组件包括第二轨道和平台，所述第二轨道与第一轨道平行设置，所述平台通过滑块安装在第二轨道上，

所述第一件体安装在所述平台上，所述第六件体安装在所述移动台上，且所述第一轴、第二轴以及第三轴分别与所述第二轨道平行。