[发明专利]一种可变光阑及光刻机在审
| 申请号： | 202011263832.4 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114488700A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 黄磊;李平欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可变光阑及光刻机。可变光阑包括：X向组件以及Y向组件；X向组件包括：X向滑轨；两个X向滑块，两个X向滑块沿X向间隔分布在X向滑轨上；X向刀片，设于X向滑块上；X向驱动装置，与X向滑块连接；Y向组件包括：Y向滑轨；两个Y向滑块，两个Y向滑块沿Y向间隔分布在Y向滑轨上；Y向刀片，设于Y向滑块上；Y向驱动装置，与Y向滑块连接；其中，两个X向滑块上的X向刀片与两个Y向滑块上的Y向刀片共同围成用于曝光的狭缝窗口。本发明还公开一种光刻机，包括上述可变光阑。本发明结构紧凑，且能增大刀片的运动行程，提高刀片运行平稳性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 光阑 光刻 | ||
【主权项】：
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