[发明专利]一种可变光阑及光刻机

权利要求书

1.一种可变光阑，其特征在于，包括：

X向组件(10)以及Y向组件(20)；

所述X向组件(10)包括：

X向滑轨(11)；

两个X向滑块(12)，两个所述X向滑块(12)沿X向间隔分布在所述X向滑轨(11)上；

X向刀片(13)，设于所述X向滑块(12)上；以及

X向驱动装置，与所述X向滑块(12)连接；

所述Y向组件(20)包括：

Y向滑轨(21)；

两个Y向滑块(22)，两个所述Y向滑块(22)沿Y向间隔分布在所述Y向滑轨(21)上，

Y向刀片(23)，设于所述Y向滑块(22)上；以及

Y向驱动装置，与所述Y向滑块(22)连接；

其中，两个所述X向滑块(12)上的所述X向刀片(13)与两个所述Y向滑块(22)上的所述Y向刀片(23)共同围成用于曝光的狭缝窗口(1)。

2.根据权利要求1所述的可变光阑，其特征在于，所述X向组件(10)与所述Y向组件(20)中至少一个为扫描组件。

3.根据权利要求1所述的可变光阑，其特征在于，所述X向驱动装置包括：

磁轨(14)，所述磁轨(14)内设置有磁石定子(16)，所述磁石定子(16)包括相对设置于所述磁轨(14)内的第一磁石定子(161)及第二磁石定子(162)；

无铁芯线圈动子(15)，至少部分设于所述第一磁石定子(161)与第二磁石定子(162)之间，所述无铁芯线圈动子(15)连接至所述X向滑块(12)，以驱动所述X向滑块(12)移动。

4.根据权利要求3所述的可变光阑，其特征在于，所述磁轨(14)为U形，所述第一磁石定子(161)及所述第二磁石定子(162)分别设置于所述U形的两个相对的侧壁上。

5.根据权利要求4所述的可变光阑，其特征在于，所述U形的底部开设有导向槽(141)，所述无铁芯线圈动子(15)伸入所述第一磁石定子(161)与所述第二磁石定子(162)之间的一端延伸至所述导向槽(141)中。

6.根据权利要求1所述的可变光阑，其特征在于，所述X向滑轨(11)为气浮滑轨，所述X向滑块(12)为气浮滑块，所述X向滑块(12)的与所述X向滑轨(11)相对的侧壁上设有第一预紧磁铁(121)。

7.根据权利要求4所述的可变光阑，其特征在于，所述X向滑轨(11)与所述X向滑块(12)均为L形，所述X向滑块(12)的L形内侧壁叠设于所述X向滑轨(11)的L形外侧壁上，所述X向滑块(12)的L形外侧壁的其中一个L形外侧壁与所述无铁芯线圈动子(15)连接，其中另一L形外侧壁与所述X向刀片(13)连接。

8.根据权利要求7所述的可变光阑，其特征在于，所述X向与所述Y向形成第一平面(a)，所述磁轨(14)的U形侧壁与所述第一平面(a)垂直，所述X向刀片(13)与所述第一平面(a)平行。

9.根据权利要求8所述的可变光阑，其特征在于，所述X向滑块(12)与所述无铁芯线圈动子(15)的沿所述Y向上靠近所述Y向刀片(23)的侧壁连接，且所述X向滑块(12)与所述无铁芯线圈动子(15)连接处设置有转接板(17)。

10.根据权利要求8所述的可变光阑，其特征在于，所述X向滑块(12)与所述X向刀片(13)之间垫设有微调板(18)。

11.根据权利要求1所述的可变光阑，其特征在于，所述X向驱动装置和/或Y向驱动装置包括：

铁芯线圈定子(24)；以及

磁铁动子(25)，设于所述Y向滑块(22)上；

其中，所述铁芯线圈定子(24)与所述Y向滑块(22)贴合设置，以使所述铁芯线圈定子(24)与所述Y向滑块(22)上的所述磁铁动子(25)配合形成所述Y向驱动装置。