[发明专利]一种薄膜沉积设备加热控制系统及方法在审
| 申请号： | 202011262339.0 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112462824A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | G05D23/22 | 分类号： | G05D23/22 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 李思琼;彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜沉积设备加热控制系统及方法，该系统包括设置在加热盘中的热电偶和管状加热器，还包括温度控制器、功率调节器和漏电流传感器，温度控制器的输入端与热电偶连接，温度控制器的输出端与功率调节器的输入端连接，功率调节器的输出端与管状加热器连接，漏电流传感器连接于所述功率调节器与所述管状加热器之间的控制线路中，所述漏电流传感器的输出端与所述温度控制器的输入端连接。本发明可将薄膜沉积设备加热系统产生的漏电流控制在合理范围内，从而保证设备的安全以及正常生产运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 沉积 设备 加热 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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