[发明专利]调谐激光器芯片有效
申请号: | 202011250258.9 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN112366517B | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 孙文惠;徐长达;班德超;陈伟;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/125;H01S5/14;H01S5/06;H01S5/065 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周天宇 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种调谐激光器芯片,包括:后向光栅区(1)、第一增益区(2)、微环谐振腔(c)及前向光栅区(5);所述微环谐振腔(c)包括依次环形连接的第二增益区(3)、第一多模干涉波导(6)、调相区(4)及第二多模干涉波导(7);所述后向光栅区(1)连接至所述第一增益区(2),所述第一增益区(2)连接至所述第一多模干涉波导(6),所述前向光栅区(5)连接至所述第二多模干涉波导(7);其中,所述后向光栅区(1)与所述前向光栅区(5)构成布拉格反射谐振腔,所述第二增益区(3)与所述调相区(4)构成增益谐振腔。该激光器芯片可以实现对L波段光谱的精细调谐及宽范围调谐并避免跳模。 | ||
搜索关键词: | 调谐 激光器 芯片 | ||
【主权项】:
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