[发明专利]一种高能激光光束质量测试方法及测试系统有效
| 申请号： | 202011245534.2 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112097900B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李敏;沈本剑;陶汝茂;冯曦;刘玙;黄珊;宋华青;吴文杰;谢亮华;李昊坤;张春;王建军 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;G01J1/02 |
| 代理公司： | 成都东恒知盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51304 | 代理人： | 何健雄;廖祥文 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高能激光光束质量测试方法及测试系统，所述测试方法包括：在用于对激光光束进行分光的衍射分光元件的背面设置冷却模块，冷却模块采用包括微通道热沉、半导体制冷器导热和直接液冷中的一种或者多种方式进行冷却散热；激光入射光与衍射分光元件之间形成一定的入射角度，入射到衍射分光元件的迎光面，得到镜面反射光和一级衍射光；采用功率计测量所述一级衍射光的功率，以及采用光束质量分析仪测量所述镜面反射光的光束质量，进而得到高能激光器的光束质量。本发明的优点在于通过在衍射分光元件背面设置冷却模块，能够有效控制衍射分光元件的温升，降低膜系和基底的热效应，极大地提高了激光光束质量测量以及能量测量的置信度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高能 激光 光束 质量 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
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