[发明专利]基板处理设备在审
| 申请号： | 202011237359.2 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112908823A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 文炯哲 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种冷却装置，该冷却装置能够通过使用涡流管来控制反应器特别是气体供应装置例如喷头的上部的温度。冷却装置可供应的冷却气体的温度低于加热到高温的气体供应装置的温度，从而容易地控制气体供应装置的温度。并提供一种包括该冷却装置的气体供应装置和包括该冷却装置的基板处理设备。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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