[发明专利]制造光感测装置和具有平面内及出平面运动的装置的方法在审
| 申请号： | 202011233798.6 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112781726A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 许郁文 | 申请（专利权）人： | 躍旺创新股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;B81B7/04 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘凤香 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制造具有平面内及出平面运动的一装置的方法，该方法包括：提供一平面内运动驱动器，用于相对于一参考平面以三个自由度移动安装于其上的一应用组件；以及提供一出平面运动驱动器，于其上承载该平面内运动驱动器，且该出平面运动驱动器具有一底部板以及设置于该底部板上的一单轴致动器，其中该单轴致动器具有一致动端，以及该致动端赋能该应用组件相对于该参考平面以不同于该三个自由度的第四个自由度移动。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 光感测 装置 具有 平面 运动 方法 | ||
【主权项】：
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