[发明专利]一种氧化铟锡合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202011233273.2 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN114436642A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 黄永香 | 申请（专利权）人： | 湖南七点钟文化科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/01;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟 |
| 地址： | 410300 湖南省湘潭*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氧化铟锡合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将氧化铟和氧化锡置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物抽真空后冷等静压，得到粗坯，将所述粗坯进行二次压制，得到合金靶材生坯；C)将合金靶材生坯进行真空热压烧结，得到氧化铟锡合金靶材粗品；D)将所述氧化铟锡合金靶材粗品进行退火，将步骤A)的混合物等离子喷涂至退火后的氧化铟锡合金靶材粗品表面，得到氧化铟锡合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的氧化铟锡合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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