[发明专利]具有弹性膜的磁性液体微压差传感器在审
申请号: | 202011223871.1 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN112577661A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 李德才;任思杰;韩鹏栋;李钲皓;李英松 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01L13/06 | 分类号: | G01L13/06 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 刘虎 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种具有弹性膜的磁性液体微压差传感器,所述具有弹性膜的磁性液体微压差传感器包括管体、第一弹性膜、第二弹性膜、第一线圈和第二线圈,管体内设有第一腔、毛细腔和第二腔,毛细腔的一端与第一腔连通,毛细腔的另一端与第二腔连通,毛细腔用于产生毛细力,第一腔和第二腔内均填充有磁性液体,毛细腔内填充有非导磁流体,第一弹性膜设于管体内并用于弹性封堵第一腔的一侧,第二弹性膜设于管体内并用于弹性封堵第二腔的一侧,第一线圈和第二线圈均缠绕在管体的外周,且第一线圈和第二线圈与毛细腔对应。本发明的具有弹性膜的磁性液体微压差传感器,提高了微差传感器的灵敏度,还实现了微差传感器的自行恢复。 | ||
搜索关键词: | 具有 弹性 磁性 液体 微压差 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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