[发明专利]一种校准管式PECVD石墨舟的方法有效
| 申请号： | 202011220405.8 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112382701B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张云鹏;王玉;赵科巍;郭鹏;郭丽;宰世超 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/66 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池生产领域。一种校准管式PECVD石墨舟的方法，首先人工检测待校准的石墨舟连接块、舟片有无断裂、变形或破损，如果有请及时更换，人工检测待校准的石墨舟舟内或卡点内有无异物，如有异物及时进行清理或者清洗；然后将待校准的石墨舟放置在校准台上进行检测。本发明实施的校准方法可以简单准确的校准光伏太阳能管式PECVD石墨舟，解决了因石墨舟引起的掉片、划伤和破片报警等问题，提高了电池片的合格率，增加了车间的产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校准 pecvd 石墨 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
