[发明专利]一种关节轴承内圈外表面沉积类金刚石薄膜的方法在审
| 申请号： | 202011219357.0 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112553584A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王少峰;程大林;席少静;李长清;周岩;汪哲 | 申请（专利权）人： | 河北汉光重工有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨潇;廖辉 |
| 地址： | 056002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种关节轴承内圈外表面沉积类金刚石薄膜的方法，步骤如下：首先对关节轴承内圈表面进行清洗；将清洗后的关节轴承内圈放入真空腔内，抽真空至2×10‑3Pa；然后通入氩气，打开离子束，打开脉冲偏压，对关节轴承内圈表面进行离子清洗；向真空腔内通入氩气，对关节轴承内圈附加负偏压，磁控溅射钛靶沉积钛过渡层；之后向真空腔内通入氩气和乙炔，打开离子束和偏压电源，在钛过渡层表面磁控溅射碳靶沉积类金刚石薄膜；最后待真空腔内温度降到室温后把关节轴承内圈取出。本发明改善了薄膜的承载能力，提高了关节轴承的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 关节轴承 圈外 表面 沉积 金刚石 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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