[发明专利]显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备有效
| 申请号： | 202011209926.3 | 申请日： | 2020-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN112542386B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 刘凯军;周佑联;许哲豪;袁海江 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336;H01L27/32;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开一种显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备。薄膜晶体管的制造方法包括：在衬底上形成未结晶的有源层；在所述有源层上方形成遮光层；在所述遮光层上方用激光对所述有源层进行结晶化处理；所述遮光层宽度小于对应的所述有源层的宽度。本发明在有源层结晶前先在辅助层上方设置遮光层，然后再用激光诱导结使有源层的存在未结晶的区域，该区域可以有效抑制器件的漏电流，因此能增加器件的开关比，从而提高器件的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 薄膜晶体管 制造 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
