[发明专利]用于近贴式光电探测器件的微通道板及其制备方法有效
| 申请号： | 202011195836.3 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112420476B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 邱祥彪;丛晓庆;张正君;李臻;王兴超;李婧雯;孙赛林;任玲;乔芳建;李磊 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J43/10 | 分类号： | H01J43/10;H01J43/08;H01J9/12;H01J9/02 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松;王菊花 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于近贴式光电探测器件的微通道板及其制备方法，在微通道板的输入面上依次形成NiCr连接层、金属铝膜层以及铝膜表面氧化层，NiCr连接层直接覆盖在微通道板的输入面表面；微通道板的探测收集效率在98％以上，应用于近贴式光电探测器件中，能够大幅的提高器件的探测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 近贴式 光电 探测 器件 通道 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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