[发明专利]一种磁控溅射用钙钛矿型铁酸钐靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202011195184.3 | 申请日： | 2020-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112281128B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 付秋平;莫昌琍;严伟;罗军 | 申请（专利权）人： | 贵阳学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C04B35/26;C04B35/626;C04B35/634;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 黄公安 |
| 地址： | 550002 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及材料生产技术领域，具体涉及一种磁控溅射用钙钛矿型铁酸钐靶材的制备方法；本发明在球磨过程中粘合剂的使用能有效地减小压片过程中所得压片出现开裂的几率，保证了所得压片的品质；再者，本发明中通过滚动造粒方式进行造粒，能有效地增强混合粉体的流动性，便于后续将混分粉体均匀且充实地填充在磨具中，从而有效地提高了靶材素坯的成型密度；另外，在造粒过程中，将混合粉体至于微波马弗炉中能对混合粉体进行充分的加热，有效地提高了脱胶的效率及效果，也消除了粘接剂对所制备的靶材质量及性能的影响；采用本发明制备的钙钛矿型铁酸钐靶材不仅致密度十分地优异，而且其还具有优良的抗弯强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 用钙钛矿型铁酸钐靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于贵阳学院，未经贵阳学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011195184.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
