[发明专利]集成的反射仪或椭偏仪有效
| 申请号： | 202011191577.7 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112762843B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 赵国衡 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种与处理工具集成的反射仪或椭偏仪，包括：源模块，所述源模块经配置以产生输入束；和第一镜，所述第一镜布置为接收输入束。第一镜经配置以使输入束准直和将输入束导向孔板。孔板具有至少两个孔。至少两个孔中的一个布置为从输入束的一部分限定测量束，并且至少两个孔中的一个布置为从输入束的一部分限定参考束。光学元件布置在参考束的光路内并且在测量束的光路外。光学元件经配置以将参考束导向第三镜。第二镜布置为接收测量束和将测量束通过窗口聚焦并且聚焦至样本的表面上。窗口形成处理工具的腔室的部分，并且样本设置在腔室内。测量束的至少一部分作为反射束从样本的表面反射。第二镜布置为接收反射束和将反射束导向光学元件。光学元件经配置以将反射束导向第三镜。第三镜布置为接收参考束和反射束并且将参考束和反射束聚焦至收集平面上。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 反射 椭偏仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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