[发明专利]一种胶体表面呈凸起状的硅溶胶及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域，具体公开一种胶体表面呈凸起状的硅溶胶及其制备方法和应用。所述胶体表面呈凸起状的硅溶胶，包括液体介质和胶体粒子，所述胶体粒子为狼牙棒状、且表面带凸起的二氧化硅胶体粒子，所述凸起的高度H为1～8nm；所述二氧化硅胶体粒子的氮气吸附BET比表面积拟合粒径为D1，经透射电镜表征所得的短轴粒径为D2，经动态光散射测得的粒径为D3，1.2≤D2/D1≤1.8，且2.0≤D3/D1≤6.3。本发明提供的硅溶胶，具有较高的粗糙度和异形度，能够有效减少与被研磨物的接触时间，减少缺陷和划痕的产生，用于抛光液中有助于提高抛光效率。