[发明专利]一种用于钢管内壁的磁控溅射装置和溅射方法在审
| 申请号： | 202011164621.5 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112430801A | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 袁军涛;付安庆;李文升;尹成先;吕乃欣 | 申请（专利权）人： | 中国石油天然气集团有限公司;中国石油天然气集团公司管材研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李红霖 |
| 地址： | 100007 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于钢管内壁的磁控溅射装置和溅射方法，属于镀膜领域。本发明的用于钢管内壁的磁控溅射装置，对靶材支架和工件支架做了改进，使得中空靶材管处于钢管内部，镀膜时，在钢管内形成等离子体场，气体离子轰击靶材外壁，产生金属粒子的沉积在钢管内壁上；本发明钢管内壁的磁控溅射装置，在现有的磁控溅射装置上改进小、易于改装，操作方便，能够在钢管内壁制备耐蚀合金涂层，而且可通过更换靶材而制备不同的耐蚀合金涂层，满足不同工况下的耐腐蚀需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 钢管 内壁 磁控溅射 装置 溅射 方法 | ||
【主权项】：
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