[发明专利]稳定光学透镜温度的系统在审
申请号: | 202011162153.8 | 申请日: | 2020-10-27 |
公开(公告)号: | CN113467190A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 廖啟宏;杨岳霖 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本揭露的实施例提供一种稳定光学透镜温度的系统,包含光源控制模块,光源控制模块包含红外线感测模块,红外线感测模块定位以侦测至少一光学透镜发射的红外线辐射,并产生代表至少一光学透镜的温度的红外线感测信号,至少一光学透镜接收来自第一光源的光,在至少一光学透镜接收的来自第一光源的光的能量密度具有可变能量密度以及光源控制器,光源控制器包含处理单元与至少一红外线光源,至少一红外线光源包含电子功率管理电路,处理单元配置以接收红外线感测信号,并产生控制信号,电子功率管理电路配置以接收控制信号,并调节来自至少一红外线光源的光的发射,红外线光源配置以导向光至至少一光学透镜。 | ||
搜索关键词: | 稳定 光学 透镜 温度 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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