[发明专利]一种基于结构光照明的波前传感三维显微镜在审
申请号: | 202011161945.3 | 申请日: | 2020-10-27 |
公开(公告)号: | CN112161564A | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 龚海;安亚通;邵屹峰;郭文俊;徐方达;于楠 | 申请(专利权)人: | 龚海 |
主分类号: | G01B9/04 | 分类号: | G01B9/04;G01B11/25;G01J9/00 |
代理公司: | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 王利斌 |
地址: | 710000 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于结构光照明的波前传感三维显微镜,包括结构光准直光源,结构光准直光源一侧依次设有被测样品与物镜,物镜远离结构光准直光源的另一端依次设有筒镜与波前传感器。本发明的有益效果:利用准直结构光照明提高了现有基于波前传感的三维显微镜的空间分辨率,结构简单,操作方便,容易集成到现有的显微镜系统,可以实现透射式与反射式测量,适用于不同的被测样品与测量场景。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 结构 照明 传感 三维 显微镜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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