[发明专利]一种钛靶材组件的车削方法在审
| 申请号： | 202011158921.2 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112404461A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;徐蔓 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23B1/00 | 分类号： | B23B1/00;B23P15/00;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钛靶材组件的车削方法，所述车削方法包括如下步骤：先将钛锭切断进行塑性变形；然后将得到的钛靶材坯料与背板进行焊接，得到钛靶材组件粗品；随后将得到的钛靶材组件粗品中的所述钛靶材坯料的溅射面依次进行粗车削和精车削，得到所述钛靶材组件；其中，所述精车削的待加工余量为0.4‑0.6mm，所述精车削分为至少2刀进行车削。本发明所述车削方法采用依次进行粗车削和精车削的机加工方式，并进一步限定了所述精车削的待加工余量以及分为至少2刀进行车削，使得钛靶材组件的溅射面不仅可以满足粗糙度要求，还可以保证平面度＜0.1mm，避免表面应力留存，而且能够使得刀片的磨损速度变慢。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 组件 车削 方法 | ||
【主权项】：
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