[发明专利]一种基于微型晶粒的物镜检测系统方法和装置有效
| 申请号： | 202011156866.3 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112230416B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 林永祥 | 申请（专利权）人： | 琉明光电(常州)有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/24 | 分类号： | G02B21/24;G02B21/36;G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 黎芳芳 |
| 地址： | 213164 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体芯片检测技术领域，本发明公开了一种基于微型晶粒的物镜检测系统方法和装置，包括中央处理单元、物镜调整模块、焦距调整模块、模糊度调整模块和数量调整模块，所述物镜调整模块用于对倍镜的倍数进行预选择，所述焦距调整模块用于对所测晶粒的焦距进行实时调整，所述模糊度调整模块用于根据照片中的相似模糊值来提取相关参数，所述数量调整模块根据现有倍镜里的晶粒数量从而判断是否需要更换倍镜数，本发明科学合理，利用模糊度调整模块可以将检测到的相同模糊值的倍数调整方法保存，以便于下次直接调整目镜倍数，利用数量调整模块来判断所拍照片里的晶粒数量是否低于预设值，并判断是否需要调整物镜参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微型 晶粒 物镜 检测 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
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