[发明专利]晶圆用承载环的安装夹具有效
| 申请号： | 202011125860.X | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN114378751B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 夏智 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/02 | 分类号： | B25B11/02;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆用承载环的安装夹具。该承载环包括圆环部、螺纹件和多个固定座，其中：圆环部包括环体和多个设有光孔的凸耳；固定座设有螺纹孔，螺纹件穿过光孔后能够与螺纹孔螺纹连接。该安装夹具包括第一夹体和第二夹体，其中：第一夹体具有第一圆孔部和第一槽部；第一圆孔部的直径大于或等于环体的外直径；第一槽部从第一圆孔部的内壁向第一夹体的外侧延伸；在环体位于第一圆孔部时，第一槽部能够卡紧凸耳；第二夹体具有贯穿第二夹体的第二槽部；在第一槽部卡紧凸耳时，固定座能够穿入第二槽部，螺纹孔和光孔的中轴线重合，且固定座能够从第一槽部穿出。该安装夹具能够减少承载环的组装时间。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆用 承载 安装 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011125860.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双轴石英微机械陀螺仪
- 下一篇：一种穿戴式主被动混合助力机构和助力方法
