[发明专利]一种直拉式单晶硅生产方法和装置及系统在审
| 申请号： | 202011124876.9 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112226812A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 严超;司泽;陈俊良;李志轩 | 申请（专利权）人： | 北京图知天下科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B29/06;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/187;G06T7/60 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 岳凤羽 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉式单晶硅生产方法和装置及系统，属于直拉式单晶硅生产领域，通过获取导流筒出口包括液面和倒影的图像，实时调整坩埚和导流筒间的距离，使熔融硅液面与导流筒间距离不变。本发明使用图像测距的方案，无需使用硬件传感器，成本较低。同时能保证相应方法在不同设备条件下均能完成对距离的测量，无须对每个设备都进行精细校准调试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉式 单晶硅 生产 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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