[发明专利]一种透射电镜高分辨原位悬空式温差加压芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202011121745.5 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112129786A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 廖洪钢;何娜娜;江友红 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01N23/02 | 分类号： | G01N23/02;G01N23/20033;H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 黄斌 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种透射电镜高分辨原位悬空式温差加压芯片及其制备方法，其中芯片包括双面覆盖有绝缘层的基片，该基片的中部具有一中心视窗，该中心视窗悬空设置，且该中心视窗上还覆盖有一支撑层；该中心视窗内的支撑层上具有呈左右对称设置的两加热丝以及呈上下对称设置的两加压电路，且两加压电路位于两加热丝之间的间隙中；每一加热丝均连接有四个加热电极，每一加热电极通过一加热线路连接于加热丝的不同位置上；每一加压电路连接有一加压电极，每一加压电极通过一加压线路与对应的加压电路连接，该芯片能够同时实现温差及加压功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 电镜高 分辨 原位 悬空 温差 加压 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011121745.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电机端盖漏气检测装置以及方法
- 下一篇：动力装置、风向调节装置及车辆
