[发明专利]一种掩膜版自动辅助夹具有效
| 申请号： | 202011121532.2 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112346307B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 钱超;余洋 | 申请（专利权）人： | 南京深光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 210038 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体生产技术领域，尤其是涉及一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座，连接座的侧壁上固定连接有多根支撑柱，支撑柱上设有夹紧机构，连接座与支撑柱内均设有空腔且相互连通，连接座上固定连接有连接柱，连接柱内设有用于配合夹紧机构的往复机构，连接柱上设有转动机构，连接柱的一侧设有用于配合转动机构的升降机构。优点在于：本发明可在对掩膜版就行清洗时具有良好的夹紧作用，同时不会使其出现受力不均匀或夹持过度而导致损伤的效果，同时可在完成清洗后将其自动的提升出清洗的区域，方便操作人员拿取，进一步降低其出现误操作的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 自动 辅助 夹具 | ||
【主权项】：
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