[发明专利]微型大视场超分辨显微成像装置在审
| 申请号： | 202011118196.6 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112179909A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 白金玺;马骅;张霖;石振东;刘丽佳;马可;任寰;柴立群;姜宏振;杨一 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G02B21/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置，包括光纤激光器、单模保偏光纤、偏振控制器、1×4MEMS光开关、两个1×2光纤耦合器、5个光纤准直头、大视场显微物镜、成像透镜、科学相机、工作台和精密位移平台，本发明在实现超分辨显微成像的过程中，将极大地缩小装置的体积，且最大程度的提升超分辨检测系统的分辨率和检测效率，同时具备优良的可移植性，可方便地嵌入到被检系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 视场 分辨 显微 成像 装置 | ||
【主权项】：
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