[发明专利]内嵌式观测窗在审
申请号: | 202011110401.4 | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN112302488A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 陶利权;刘盈楹;胡天水;王丽江;刘凯文;张利军;谢坤宪;闫芸 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
主分类号: | E06B5/00 | 分类号: | E06B5/00;E06B3/90;E05D15/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张延薇 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及扫描检测技术领域,具体而言,涉及一种内嵌式观测窗。内嵌式观测窗包括底座、上壳体和主视窗;所述上壳体和所述主视窗均设置在所述底座上,且所述底座、所述上壳体和所述主视窗共同构成作业空间;所述上壳体相对所述底座固定;所述主视窗打开的方式包括:所述主视窗相对所述底座向所述作业空间内转动。本发明主视窗能够通过相对底座向内部的作业空间内转动,以打开作业空间,反向转动以关闭作业空间,进而不会占用设备的外部空间,进而不会影响到操作人员的观察角度,提高了操作人员的观测准确性。 | ||
搜索关键词: | 内嵌式 观测 | ||
【主权项】:
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