[发明专利]一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置及方法在审
| 申请号： | 202011105230.6 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112229847A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张霖;白金玺;石振东;马骅;杨一;马可;刘丽佳;衡斌;任寰;柴立群 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/36 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于结构光照明频域拓展原理的光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置，包括激光光源、准直透镜、声光调制器、空间滤波器、偏振控制模块、反射镜、光阑、空间光调制器、透镜、遮光板、全息衍射片、分光镜、显微物镜、面阵探测器以及可实现声光调制器、偏振方向控制器、空间光调制器、面阵探测器同步的控制系统。同时，本发明还公开了一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测方法，解决了现有激光干涉结构光照明散斑噪声强、成像调制度各向异性的问题，能够自动进行照明光方向与相位同步切换、偏振态实时匹配，提高了系统稳定性，无需对样品特殊处理或添加荧光剂即可实现光学元器件表面缺陷或微结构的超衍射极限尺度快速测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 表面 缺陷 分辨 自动检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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