[发明专利]加热器及真空镀膜装置在审
| 申请号： | 202011102437.8 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112210759A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 李王俊;杨杰;申曌奉 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种加热器及真空镀膜装置，加热器包括加热丝、第一壳体及第二壳体，其中：第二壳体包覆在第一壳体的外侧，且第二壳体背离第一壳体的外表面为氟原子复合损失率小于5×10 |
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| 搜索关键词： | 加热器 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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