[发明专利]一种翘曲度测量装置在审
| 申请号： | 202011102068.2 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN114370811A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 杨柳;孙军;张振中;和巍巍 | 申请（专利权）人： | 深圳基本半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/30 | 分类号： | G01B5/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种翘曲度测量装置。所述翘曲度测量装置包括基座、承载机构及测量机构。所述承载机构包括第一支架及测量平台。所述测量平台上形成有第一通孔。所述第一支架的两端分别与所述测量平台及所述基座螺纹连接，并在所述测量平台与所述基座之间形成一安装区域。所述测量机构包括测量部和从所述测量部伸出的探针，所述测量部架设于所述安装区域内，且使得所述探针的第一端伸出所述第一通孔。如此，无需将待测模块倒置，即可实现低成本且简易测量的目的。本发明测量稳定、成本较低且操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲度 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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