[发明专利]一种三维真空运动系统及其应用有效
| 申请号： | 202011070522.0 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN114321576B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张佼;姜海涛;蔡海军;东青 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;昆山晶微新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/18;B22F12/00;C23C14/22;C23C16/44;B33Y30/00;B33Y40/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 201100 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种三维真空运动系统及其应用，涉及机械运动平台设计领域。该三维真空运动系统包括：设置于真空腔内的运动组件和设置于真空腔外的驱动组件；驱动组件包括真空动密封件、直线轴承、电动缸和电机，电动缸与电机连接，真空动密封件的两端分别与电动缸的推力杆和直线轴承连接；运动组件包括相互连接的X轴运动装置和Y轴运动装置以及与X轴运动装置或Y轴运动装置连接的Z轴运动装置；驱动组件为三个且分别用于驱动X轴运动装置、Y轴运动装置和Z轴运动装置。该系统可实现大载荷、高速度、高精度的三维运动，且在高温、高真空、长时间下服役下稳定运行。其可广泛应用于3D打印设备、真空镀膜设备或真空冶金设备中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 真空 运动 系统 及其 应用 | ||
【主权项】：
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