[发明专利]掩膜板框架及蒸镀掩膜板组件有效
申请号: | 202011061713.0 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN112226731B | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 李伟丽;邱岳 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16;H10K50/10 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 娜拉 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请实施例提供一种掩膜板框架及蒸镀掩膜板组件。本申请实施例中掩膜板框架具有相背的第一表面和第二表面,且包括:框架本体,具有开口的框式结构体;支撑体,在开口内连接于框架本体设置,支撑体包括呈阵列分布的蒸镀开口及围绕各蒸镀开口分布的支撑单元,支撑单元包括支撑部和由支撑部向蒸镀开口方向延伸形成的贴合部,支撑部具有支撑面,支撑面位于第一表面,贴合部具有贴合面,在第一表面至第二表面的第一方向上贴合面相对于支撑面下凹与支撑面呈台阶分布。蒸镀过程使用该掩膜板框架节省框架制作过程中多个支撑条、遮挡条张网对位以及焊接固定的步骤,缩短掩膜板框架制作时间,进一步缩短蒸镀过程时间,提高OLED显示面板整体制备效率。 | ||
搜索关键词: | 掩膜板 框架 蒸镀掩膜板 组件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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