[发明专利]光斑轮廓的检测方法有效
| 申请号： | 202011043521.7 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN114322839B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 唐江锋;赵丽丽 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光斑轮廓的检测方法，包括光源产生目标光斑并投射在图像传感器的视场范围内，运动台载动所述图像传感器按一设定路线进行步进，并在每一步进位置进行图像采集，然后对采集的图像进行补偿整合。本发明通过运动台载动图像传感器进行图像采集，通过补偿整合形成高分辨率图像，间接提高了图像传感器的分辨率，实现光斑轮廓的高精度检测。进一步的，本发明提供的光斑轮廓的检测方法在现有光斑轮廓的检测系统的基础上实现光斑轮廓的检测，不需要增加额外硬件，节约了检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 轮廓 检测 方法 | ||
【主权项】：
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