[发明专利]蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 202011023409.7 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112575295B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 风间良秋;近藤喜成 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H10K99/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够对多重地包围容器的多个加热器以加热器彼此不接触的方式进行支承并有效地加热容器内的蒸镀材料的蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。所述蒸发源装置具备：收容蒸镀材料的容器；配置在所述容器的周围且呈螺旋状地设置有加热线的第一加热器；以及配置在所述第一加热器的外侧且呈螺旋状地设置有加热线的第二加热器，所述蒸发源装置的特征在于，具备配置在所述第一加热器与所述第二加热器之间且对所述第一加热器和第二加热器的任一方的加热线进行支承的第一支承构件。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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