[发明专利]一种干涉仪在审
申请号: | 202011017947.5 | 申请日: | 2020-09-24 |
公开(公告)号: | CN112162378A | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 于志伟;张建清;张涵 | 申请(专利权)人: | 杭州春来科技有限公司 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182;G01B11/26;G01B9/02 |
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地址: | 310053 浙江省杭州市滨*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种干涉仪,包括基座,在基座上设置有光源、分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及摆动件;所述分束镜将光源产生的入射光分成透射的第一光束和反射的第二光束;所述第一光束经过第一反射镜反射后被分束镜分为第一反射光和第一透射光;所述第二光束经过第二反射镜反射后被分束镜分为第二反射光和第二透射光;所述第一反射镜和第二反射镜通过固定架设置于摆动件上,所述摆动件初始位置时,第一透射光和第二反射光两者光程相等,当摆动件带动第一反射镜和第二反射镜来回摆动过程中,使得第一透射光和第二反射光两者产生光程差。本发明具有干涉精度高、使用方便的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 干涉仪 | ||
【主权项】:
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