[发明专利]一种重力传感器在审
| 申请号: | 202011004739.1 | 申请日: | 2020-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN111965722A | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
| 发明(设计)人: | 缪建民;尹长通;潘孝江 | 申请(专利权)人: | 华景传感科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号: | G01V7/00 | 分类号: | G01V7/00 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
| 地址: | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种重力传感器,该重力传感器包括:下盖板,下盖板的第一表面设置有第一凹槽,第一凹槽的深度小于下盖板的厚度;微机电微机电压力检测模块,位于第一凹槽内;上盖板,覆盖下盖板且包围下盖板的侧面,其中,上盖板包括一体成型的重力形变部以及包围重力形变部的连接部,重力形变部和下盖板的第一表面围成密闭腔体,连接部包围下盖板的侧面,密闭腔体在下盖板的投影覆盖微机电压力检测模块在下盖板的投影;形变传递层,形变传递层位于密闭腔体内,用于将重力形变部产生的形变传递给微机电压力检测模块。本发明实施例提供的技术方案,采用了微机电微机电压力检测模块,有效减小了重力传感器的尺寸。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 重力 传感器 | ||
【主权项】:
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