[发明专利]一种新型机械臂在审
| 申请号： | 202010997703.1 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112109095A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 张庆钊;陈百捷;姚广军;王镇清 | 申请（专利权）人： | 芯导精密(北京)设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/00;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京方韬法业专利代理事务所(普通合伙) 11303 | 代理人： | 马丽莲 |
| 地址： | 100000 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种新型机械臂，包括基础部、第一叉指和第二叉指，所述第一叉指和第二叉指包括柄部和端部，所述柄部均呈长条状，在柄部的下端向外延伸形成钩状的端部，第一叉指和第二叉指平行并列布置，第一叉指和第二叉指的柄部上端与基础部转动连接，使得第一叉指和第二叉指均能够以柄部为轴转动。本发明能够实现稳定取放晶圆的同时不触碰晶圆表面，不造成晶圆损伤，翻转时晶圆不易脱落，且对加工精度要求低，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 机械 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芯导精密(北京)设备有限公司，未经芯导精密(北京)设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010997703.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种控制系统
- 下一篇：一种多机自动化测试方法、装置及计算机设备
