[发明专利]一种晶片倒角检测方法有效
| 申请号： | 202010996023.8 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112129244B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 朱中晓;朱超;邓见会 | 申请（专利权）人： | 北京石晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙) 41203 | 代理人： | 陈佳丽 |
| 地址： | 100086 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种晶片倒角检测方法，包括七个步骤：1)在支架上同轴设置一个LED光源、固定偏光镜和旋转偏光镜；2)打开LED光源并调节可旋转偏光镜至视域最亮；3)将标准晶片放在固定偏光镜和旋转偏光镜之间；4)观察透过标准晶片的光线强度；5)将一组叠放的待检测晶片放在固定偏光镜和旋转偏光镜中间进行观察；6)对比与标准晶片亮度情况判定待检测晶片是否存有倒角异常晶片；7)将检测出来的倒角异常晶片重新进行检测确认。本发明的晶片倒角检测方法简单快捷，方便实用，提高劳效、降低劳动强度、利于缩短交货周期、降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 倒角 检测 方法 | ||
【主权项】：
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